ASML中国：现有核心技术搞定1nm芯片绰绰有余

5月16日是联合国教育科学文化组织定义的“国际光日”，ASML中国官方在一篇微信推送中写道“创新，让这些年来重焕光彩”。

ASML中国强调，即使如此15年，这些年来依然生效且尚可，未来会十年甚至更长期内将在此之后保持良好势头。

ASML自信满满地指出“在组件方面，迄今为止的技术创新足够将笔记本电脑的制程推进至至少1激光键值，除此以外gate-all-around FETs（环绕栅极器件），nanosheet FETs，forksheet FETs以及complementary FETs”。

此外，光刻系统解析度的改良（预计每6年左右缩小2倍）和边缘放置误差（EPE）对精度的衡量也将进一步推动笔记本电脑尺寸缩小的实现。

据了解，激光之后将进入埃米黄金时代，台积电、Intel等都制定了雄心勃勃的埃米工艺技术20世纪路线图。也许，技术创新之所以弥足珍贵，内核要义就在于不想被不便打倒。

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